SMC���͚�� �ΗU�p����Ҏ��D��

���͚��ռ���gλ���٣��Y���p�ɣ��������^���ܳ����^��ęM��ؓ�d���o�谲�b������ֱ�Ӱ��b�ڸ��N�A�ߺ͌����O���ϡ�

�≺�����Ќ����s���w�ĉ������D�Q��Cе �ܵĚ�ӈ���Ԫ���������������ֱ���\�ӵĺ������͔[�ӃɷN���(Ҋ�D)��������ֱ���\�ӵĚ���ֿɷ֞�����Ú�ס��p���Ú�ס�ĤƬʽ��׺͛_�����4�N��

�����Ú��:�Hһ���л����U���Ļ���һ�ȹ�����ܮa���≺���≺�Ƅӻ����a����������������ɻ����ط��ء�

�p���Ú��:�Ļ����ɂȽ��湩�⣬��һ����ɂ�����ݔ������

ĤƬʽ���:��ĤƬ���������ֻ��һ������ݔ�������Ï��ɏ�λ�������ܷ����ܺã����г̶̡�

���͚�׵�����:�����s�՚�ĉ������D�Q��Cе�ܣ��әC����ֱ�������\�ӡ��[�Ӻ����D�\�ӡ�

��Ͳ�ăȏ���С�����˚��ݔ�����Ĵ�С������Ҫ�ڸ�Ͳ����ƽ�������ͻ��ӣ���Ͳ�ȱ���ı���ֲڶȑ��_��Ra0.8um����䓹ܸ�Ͳ���ȱ���߀���Ӳ�t���ԜpСĦ��������ĥ�p�����ܷ�ֹ�P�g����Ͳ���|��ʹ�ø�̼䓹��⣬߀���øߏ����X�Ͻ���S�~��С�͚����ʹ�ò��P䓹ܵġ��������_�P�Ě�׻����͸��g�h����ʹ�õĚ�ף���Ͳ��ʹ�ò��P䓡��X�Ͻ���S�~�Ȳ��|��

���͚�׵ĽY��:�ɸ�Ͳ�����w�������������U���ܷ���M�ɡ�

��ʡ���g��ף����Ρ��b�þo�����OӋ

�����4�氲�bС�ʹ����_�P ( Φ12��Φ25���ǃ���)

������_�P��ͻ������

����׷���p���h�͡�С���_����

���|�����p��5%��13%(����ǰ��CQ2ϵ�����)

���b�ݽzͬ�����O���˗U�˰��b������̖SMC���͚�� �ΗU�p����Ҏ��D��