����y��������IFM���b�

OGDϵ�Ђ������Ĝy�ྫ���_�����׼������|(zh��)�����Ƶȑ�(y��ng)���ж�λ��z�y���w���������֡�����Ҳ���ṩ������ֵ�����ڷ֒��΄�(w��)�е��R�e�ȡ�ȫ��OGDϵ�Юa(ch��n)Ʒ�đ�(y��ng)�÷dz��V�����oՓ�ǰ��\���g(sh��)���C���ˡ��b���Ԅӻ���ݔ�ͼ��g(sh��)���������������Խ�Q�Ԅӻ����P(gu��n)���κΆ��}��

������ͨ�^PMD ���g(sh��)�y�����x��ԓ���g(sh��)ʹ�������CMOS ������Ҫ�ɿ��ö�Ĺ��w�Еr�g�����M�Мy�ࡣ�������ڙz�y�����ʵ͵Ĺ������ɫ����r��ԓ���������g(sh��)��(y��u)�����@����ʹ��OGD���������ܙz�y���@�N���w�r��ʹ��CMOS�������s�o���ṩ�z�y�Y(ji��)����

ͨ�^PMD ���g(sh��)����ʹ���ٻ������K�ȶ�ɫ���wҲ�ܱ��ɿ��ؙz�y��

�������ƹ��ܺͼ��⼼�g(sh��)ʹ�� OGD��������ʹ�ܵ��ƄӺͷ�����ⲿ�ɔ_Ҳ�dz��ɿ���

ԓ��������ʹ�ڵČ��ʽǶ���Ҳ�ܙz�y�����w�������ǜy������������c���w�� 90�� �nj��ʲ��ܙz�y�����w��

�ɿ��Ĺ�W���x�y��

2 ���_�P(gu��n)ݔ�����Ɍ�����һ�����̞�ģ�Mݔ��

���{(di��o)���Ĝy�������ʹ��ڹ���

�m�����豳�����ƹ��ܵđ�(y��ng)��

��߸߶�ֵ[mm]6

���c�ߴ煢��3,5 m

�������[[m]0...4

�y������[m]0.2...3.5; (��ɫ�⻬����)

�y���l��[Hz]1...50; (�A(y��)�O(sh��): 5)

���б���������OGD���������е���һ����(y��u)�ݡ����ڂ��͎�ĩ�ˌ�ʩֹͣ���ܕr���������ƾͷdz����ã���ʹ�ý���݁�ķ��䲻��Ӱ푂�������OGD������߀�ܿɿ��ؙz�y���в�ͬ�ɫ�����w���ڴˑ�(y��ng)���У����_�P(gu��n)�c���|�l(f��)���͎��p�٣��������w���_�ڶ����_�P(gu��n)�c�r�����͎��͕�ֹͣ������PMD���g(sh��)�h��(y��u)�ڂ��y(t��ng)�������伤���������t���������������z�y�������ܽǶȺ��ɫӰ푣���˼�ʹ���W�����ٱ�����y�ԙz�y�����wҲ�əz�y���������M�С��ɿ����ھ��|(zh��)���z�飬���ڱO(ji��n)�y��С�W��������ͷ����ʲ�������O �έh(hu��n)���X݆�ȣ������_λ�úͷ���

��ʹ�ڲ����������l���£�OGD������Ҳ�ܿɿ��ؙz�y���w���������������^������ϻ����ֲڵIJ��ϣ��粭�������@Щ����ͨ���в�ɫ����ɫ�O(sh��)Ӌ��

��(y��ng)����׵��\���ٶȼ��Կ��ƣ����õķ�����ʹ�Æ��� ��(ji��)�y�팍�F(xi��n)�� ����(ji��)���y���Ɇ����y�͹�(ji��)���y��“(li��n)���ɵ����������y�� �����ڿ��ƚ�׵��\���ٶȣ� ����Ҳ�Q���ٶȿ����y��  ��������Ԫ��ʹ�õ�IFM���������ǽӽ�IFM��������������IFM�����������ӽ������w ���е��������ԁ��R�e���w�Ľӽ�����ݔ������(y��ng)�_�P(gu��n)��̖����ˣ��ӽ�IFM������ͨ��Ҳ�Q��� ���_�P(gu��n)�� �ӽ�IFM�������ж�N�z�y��ʽ����������늴ŸБ�(y��ng)����ęz�y����Ľ����w�Юa(ch��n)���Ĝu ����ķ�ʽ�� ��׽�z�y�w�Ľӽ������늚���̖������׃���ķ�ʽ�� ���ô�ʯ������(d��o)�_�P(gu��n)�� ��ʽ�����ù��Ч��(y��ng)�͹���D(zhu��n)�Q��������z�yԪ���ȵȡ� 

����y��������IFM���b�