����SMC���͚��,SMC���c����

��Ͳ�ăȏ���С�����˚��ݔ�����Ĵ�С������Ҫ�ڸ�Ͳ����ƽ�������ͻ��ӣ���Ͳ�ȱ���ı���ֲڶȑ��_��Ra0.8um����䓹ܸ�Ͳ���ȱ���߀���Ӳ�t���ԜpСĦ��������ĥ�p�����ܷ�ֹ�P�g����Ͳ���|��ʹ�ø�̼䓹��⣬߀���øߏ����X�Ͻ���S�~��С�͚����ʹ�ò��P䓹ܵġ��������_�P�Ě�׻����͸��g�h����ʹ�õĚ�ף���Ͳ��ʹ�ò��P䓡��X�Ͻ���S�~�Ȳ��|��

��ʡ���g��ף����Ρ��b�þo�����OӋ

�����4�氲�bС�ʹ����_�P ( Φ12��Φ25���ǃ���)

������_�P��ͻ������

�����U�ǚ��������Ҫ�����������ͨ��ʹ�ø�̼䓣����潛�Ӳ�t̎������ʹ�ò��P䓣��Է����g��������ܷ�Ȧ����ĥ�ԡ�

���D�������\��̎�IJ����ܷ�Q����ܷ⣬�oֹ�����ֵ��ܷ�Q���o�ܷ⡣

����׷���p���h�͡�С���_����

���|�����p��5%��13%(����ǰ��CQ2ϵ�����)

���b�ݽzͬ�����O���˗U�˰��b������̖

���w���O���M�Ś�ͨ�ڣ��е�߀�ڶ��w���O�о��_�C�����U�ȶ��w���O���ܷ�Ȧ�ͷ��mȦ���Է�ֹ�Ļ����U̎����©��ͷ�ֹ�ⲿ�҉m����׃ȡ��U�ȶ��w���O�Ќ����ף�����ߚ�׵Č��򾫶ȣ����ܻ����U�������ęM��ؓ�d���pС�����U����r�����������L���ʹ�É�����������ͨ��ʹ�ß��Y���ͺϽ�ǰ�A�~�T�������w�^ȥ���ÿ���T�F����p�p���������P����ʹ���X�Ͻ����T��΢�͸���ʹ���S�~���ϵġ�

SMC������ý��y��L���y����XLϵ�У�XLA/XLAV ��XLC/XLCV��XLF/XLGV��XLF/XLFV��XLH��XLS��XSA��
SMC��ͨ늴��y��V100ϵ�У�V��Y��V��J��
SMCС��ֱ��ʽ��ͨ늴��y��V060ϵ��
SMCС��ֱ��ʽ������ͨ늴��y��S070ϵ��
SMC�����y��ASR/ASQϵ��
SMC���Ϛ�צ��V060ϵ��
SMC�A�o��ף�CKZNϵ��
SMC����ßo�U��ף�CYVϵ��

Ԫ�����ձ�SMC���Ԫ��
SMC������ý��y��L���y����XLϵ�У�XLA/XLAV ��XLC/XLCV��XLF/XLGV��XLF/XLFV��XLH��XLS��XSA��
SMC��ͨ늴��y��V100ϵ�У�V��Y��V��J��
SMCС��ֱ��ʽ��ͨ늴��y��V060ϵ��
SMCС��ֱ��ʽ������ͨ늴��y��S070ϵ��
SMC�����y��ASR/ASQϵ��
SMC���Ϛ�צ��V060ϵ��
SMC�A�o��ף�CKZNϵ��
SMC����ßo�U��ף�CYVϵ��

����SMC���͚��,SMC���c����