�Y������SMC�˜ʚ��,SMC
��׵Ļ����Y�������һ���ɸ�Ͳ��ǰ����w�������������U���ܷ���;o�̼�������M������Ͳ7�cǰ����w�̶��B�����л����U�ȵĸ��w5��ǰ���w���׵ׂȵĸ��w14�����w���ڸ��w���_���M�Ś�ͨ�ڣ��е�߀�O�К⾏�_�C����ǰ���w�����O���ܷ�Ȧ�����mȦ3��ͬ�r߀�O�Ќ�����4������ߚ�׵Č��򾫶��������U6�c����9�o�����B�������ϳ����ܷ�Ȧ10��11��ֹ�������҃�ǻ�໥©������߀����ĥ�h12����ߚ�׵Č��������������_�P�Ě�����������b�дŭh�������ɂȳ��b�����z�|���龏�_�|8������ǚ⾏�_���t�����ɂ����S�������O�о��_������ͬ�r���w���о��_�����y�;��_�ף�������\�ӵ����^�r��
SMC�˜ʚ�׻����ϰ��b*�ŭh���ڸ�Ͳ�⚤���b������_�P���_�P���b�����Ƭ�����o�·�̈́���ָʾ���������Ø�֬�ܷ���һ�����Ӄȡ����b��*���F�Ļ����\�ӵ����Ƭ������������ͨ�^���Ƭʹ��Ż����ɂ���Ƭ���������|���t�_�P��ͨ����*���F�����x�_�r���ň��p�����ɻ�Ƭ���_���t�_�P���_�������_�P�Ľ�ͨ����_��ʹ늴��y�Q�����Ķ����F��׵������\����
SMC�˜ʚ����偠t����Ҫ�����O�䣬����Ҫ�ǵ������ǰ�偠t�\�Еr���a�����������䵽��·�ܵ���ȥ��������ϵ�Љ��O�������ډ���������
SMC�˜ʚ�׵���Ҫ�Ƿ������������������ж����y���B��偠t�����y�������y�T���@�Ӿͷ���ѷ��������������䵽������Ҫ�ĵط���������������ȫ�T�y���������y������ˮ�y���������y�����ضȱ��������^�����w�@�Ƿ����׵���Ҫ�܉�Ԫ���������׵Ĺ������|�飺���������ˮ�����s�՚⡣
SMC�˜ʚ��ͨ��Ҳ�������Ƿ���������������偠t*�ĸ����O��,�ڰl���ʯ�ͻ�������F��ˮ���������������V���đ�����
�Y������SMC�˜ʚ��,SMC
SMC�˜ʚ��֧�м��¶����˵��۵�̎�^�ɈA��R�ӹ����^С��]��������ɑ������������ڝ�ʽ������ڃ�ȼ�C�����g϶��ϣ���ȼ�C�����r�����������ښ����һ��׃������׃����ʹ������²��a����������ښ���׵�֧�м��ѱ�����׉��o�ڙC�w��������׵�������˵���̎�a����׃�������S����ȼ�C�D�ٵ���ߣ���׃���l�ʵ���ߺ͹����r�g�����L���˵���̎��a��ƣ�������_�����ϵ�ƣ�ڏ��ȘO�޺�������F�Ѽy������u�U����ֱ��������
SMC�˜ʚ��Ͳ�ăȏ���С�����˚��ݔ�����Ĵ�С������Ҫ�ڸ�Ͳ����ƽ�������ͻ�������Ͳ�ȱ���ı���ֲڶȑ��_��Ra0.8um����䓹ܸ�Ͳ���ȱ���߀���Ӳ�t���ԜpСĦ��������ĥ�p�����ܷ�ֹ�P�g����Ͳ���|��ʹ�ø�̼䓹��⣬߀���øߏ����X�Ͻ���S�~��С�͚����ʹ�ò��P䓹ܵ����������_�P�Ě�׻����͸��g�h����ʹ�õĚ�ף���Ͳ��ʹ�ò��P䓡��X�Ͻ���S�~�Ȳ��|��
SMC�˜ʚ���е��܉�����������ֹ�������҃�ǻ�໥�Z�����O�л����ܷ�Ȧ�������ϵ���ĥ�h����ߚ�׵Č��������p�ٻ����ܷ�Ȧ��ĥ�ģ��p��Ħ����������ĥ�h�Lʹ�þ۰��������ķ���ϩ���A���ϳɘ�֬�Ȳ����������Č������ܷ�Ȧ�ߴ�ͱ�Ҫ�Ļ��Ӳ����L�ȁ�Q�������Ӳ���̫�̣�����������ĥ�p�Ϳ����������IJ��|�����X�Ͻ���T�F��С�͸׵Ļ������S�~�Ƴɵ���
SMC�˜ʚ�מ������f������׵��ͽY����D13��1��ʾ�����ɸ�Ͳ�������������U��ǰ���w������w���ܷ���ȽM�ɡ��p���Ú�׃Ȳ��������ֳɃɂ�ǻ���л����Uǻ�Q���ЗUǻ���o�����Uǻ�Q��o�Uǻ�����ğo�Uǻݔ�뉺�s�՚�r���ЗUǻ�Ś�����׃�ǻ�ĉ����������ڻ��������γɵ����˷�����ؓ�d�Ƅӻ����\����ʹ�����U��������ЗUǻ�M�⣬�o�Uǻ�Ś�r��ʹ�����U�s�ء����ЗUǻ�͟o�Uǻ�����M����Ś����������F����ֱ���\�ӡ�