�x�񷽷�SMC��(sh��)��ʽ�����_(k��i)�P(gu��n) ��������

���c(di��n)һ�[:

ԓ��̖(h��o)ݔ���O(sh��)�����ϵ�y(t��ng)����(j��ng)����ϵ�y(t��ng)��(sh��)�F(xi��n)�������ã���(d��ng)ˮ����С�چ���(d��ng)�����r(sh��)��ˮ���_(k��i)�P(gu��n)ݔ��"��"����̖(h��o)������ϵ�y(t��ng)�a(ch��n)���c�����෴�Ŀ������á��Q��Ԓ(hu��)�f(shu��)����:ˮ���_(k��i)�P(gu��n)��(d��ng)��·�е�ˮ��������1L/min�����r(sh��)����о��ˮ�������®a(ch��n)��λ�Ʋ�����(d��ng)��Դ�a(ch��n)���ſ�����ʹ������ݔ��"1"�_(k��i)�P(gu��n)��̖(h��o),ԓ��̖(h��o)ݔ�뵽�O(sh��)�����ϵ�y(t��ng)����(j��ng)���ʔU(ku��)�Ŵ��(sh��)�F(xi��n)��ˮ�������Ƶ�Ŀ�ġ���(d��ng)��·�е�ˮ����С��1L/min�����󣬴�о�ڏ�(f��)λ�������������Ž���(d��ng)��Դ��λ��ʹ������ݔ��"0"�_(k��i)�P(gu��n)��̖(h��o),ֹͣϵ�y(t��ng)�Ĺ����������_(k��i)�P(gu��n)�����`���ȸߡ��;��ԏ�(qi��ng)�ȃ�(y��u)�c(di��n) ��

��׷��4��(hu��)�扺��/���ضȂ�������(sh��)��ʽ�����_(k��i)�P(gu��n)(ģ�Kʽ)

���m�����w���՚⡢N2

����{(di��o)���� 100��1

������푑�(y��ng)�r(sh��)�g1 / 2 / 5 s

ģ�Mݔ��푑�(y��ng)�r(sh��)�g1 / 2 / 5 s

�����������ֱͨ��

�m�����w����՚� / N2

�����z�y(c��)��ʽ��ʽ(MEMS)����ʽ

�O(sh��)����������:˲�r(sh��)����30��3150 L/min

 1�_(t��i)�ɜy(c��)���ďV������

��������ˮ�����s�|(zh��)�������

��ʽ7�@ʾһ�w��

�~����������(��������)0330��3000L/min

������ʽH��������

�ݼy�N�(l��i)-Rc

��ܿڏ�101

ݔ��Ҏ(gu��)��FSOUT:PNP;FUNC:ģ�M���ݔ�� �ⲿݔ��

���x�(xi��ng)-��M12���^��(d��o)��(xi��n)(3m)

��λҎ(gu��)��-����λ�ГQ����

��̖(h��o):

AV5000-06-5DZ

VT307-5D-02

AR20-02BG    

AR40-04G  

CDQ2A50-100DCZ

CDUK16-20D  

SY9220-5D-03

CQ2A50-50DMZ

CQ2A80-75DMZ  

052BBDZ2ML00061��

R434001743

KQ2T12-00A

KQ2H10-03AS  

SMC 늚�����y ITV2050-323CL2  

AMJ3000-03  

AMJ-EL3000

MDBB32-200Z

MHZL2-16D

CM2RKA32-40

��� SMC CDQMB16-10

�x�񷽷�SMC��(sh��)��ʽ�����_(k��i)�P(gu��n) ��������