SMC�����F���x���h(hu��n)��������

��Ҫ��

���F���x���cAFϵ�п՚��^�V�������w�Y(ji��)��(g��u)��ƣ�
���Ŀҕ�_�J(r��n)�ԺͰ�ȫ��
 ��͸�������o(h��)�֣������⚤
��(zh��n)��(bi��o)��(zh��n)Ҏ(gu��)��/1000cm3�ͱ�(AL30?AL60)
���s�՚���M(j��n)������Vо��(n��i)��(c��)�����������(c��)���M(j��n)���w�S�ӵ������ӣ��������\(y��n)��(d��ng)�T�Ա��r�ء����໥��ײ�������c�����w�S��ײ�����w�S��������С�����������\(y��n)��(d��ng)���w�S���ա���Խ���⣬������u������ɞ�Һ�B(t��i)���������������ĭ���όӱ��棬���������������������ӵײ��ٱ��ų���
����(j��)ͨ�^���F���x�����������ɶ����S�Ĵ��������x�����F���x����Ҏ(gu��)�����x�����F���x�����������ܣ����Ƿ����Ԅ�(d��ng)��ˮ��ˮ�������x�����������ٱ������ٱ���߀���Ԏ�ҺλӋ(j��)��߀��������ˮ�ܵ���ʽ�ȡ�

4��SMC AFM���F���x��ע�����(xi��ng)
1���b��ǰ��Ҫ��ִ���������е���м���҉m�ȣ���ֹ�ܷ������Ƭ���롣
2���M(j��n)���ڷ��򲻵��b����Ҫ��ֱ���b��ˮ�����¡�
3�����ð��b�ڽӽ��Չ��C(j��)̎����(y��ng)���b���Ú��b�õĸ�����
4��������ˮ��ˮλ�����^��ˮ�塣
5���VоҪ������ϴ����Q����ϴ�VоҪ��������ϴ����
6����AFMǰ�摪(y��ng)���bAF�������AFM������
7��ʹ��������Ҫ�^�~����������t�����۵��͵Ε�(hu��)�������ĞVо������˺��������ڂ�(c��)�����ܳ�ְl(f��)�]���F���x���ġ�

�a(ch��n)Ʒ�ӱ���

���������� PSE533-M5  SMC

SMC JAF100-26-150

AFF4C-03DT

����y VPA542-1-03A ��λ��ͨ

SMC  VKF333V-5DZ-01

SMC  SS5Y5-20-11

SMC SY7220-5DZ-C10

���(d��ng)�Q���y VF3130-4G-02

��� CXSM32-100 SMC

늴��y sy9120-5dzd-02 smc

SMC�����F���x���h(hu��n)��������