SMCֱ�Ӱ��b�͚��,SMC�aƷ
�������SMC�ΗU�p���Ú�מ������f����׵Ļ���������.
�D��ʾ��SMC CM2ϵ���p���Ú�׵ĽY��ԭ��D��
���ɸ�Ͳ�����w�������������U���ܷ���M��——�@Ҳ�ǽM�ɚ�׵���󲿷���.
��Ͳ�ăȏ���С�����˚��ݔ�����Ĵ�С��
����Ҫ�ڸ�Ͳ����ƽ��(w��n)�����ͻ��ӣ���Ͳ�ȱ���ı���ֲڶȑ��_��Ra0.8um��
��䓹ܸ�Ͳ���ȱ���߀���Ӳ�t���ԜpСĦ��������ĥ�p��
���ܷ�ֹ�P�g����Ͳ���|��ʹ�ø�̼䓹�����
߀���øߏ����X�Ͻ���S�~��С�͚����ʹ�ò��P䓹ܵ���
�������_�P�Ě�׻����͸��g�h(hu��n)����ʹ�õĚ������Ͳ��ʹ�ò��P䓡��X�Ͻ���S�~�Ȳ��|��.
SMC CM2��׻����ϲ��ýM���ܷ�Ȧ���F�p���ܷ��������c�����U�É��T朽���������ĸ
SMC��׶��w���O���M�Ś�ͨ�����͵�߀�ڶ��w���O�о��_�C����
�U�ȶ��w���O���ܷ�Ȧ�ͷ��mȦ��

SMCֱ�Ӱ��b�͚��,SMC�aƷ
�Է�ֹ�Ļ����U̎����©��ͷ�ֹ�ⲿ�҉m����׃���
�U�ȶ��w���O�Ќ�����������ߚ�׵Č��򾫶���
���ܻ����U�������ęM��ؓ�d���pС�����U����r��������
���L���ʹ�É�����������ͨ��ʹ�ß��Y���ͺϽ���ǰ�A�~�T����
���w�^ȥ���ÿ���T�F���F�ڞ�p�p���������P��
��ʹ���X�Ͻ����T��΢�͸���ʹ���S�~���ϵ�
SMC��װ����_��ʽ�ɷ֞�o���_���|���_��
�⾏�_���O��Һ�����_�������ڸ��٣��Ț������������ʽ��
SMC��׿ɷ֞�o�͚�׺Ͳ��o�͚�ף���λ�Ùz�y��ʽ����λ�_�P��