*NACHI���������y,����Խ���������yԔ��(x��)��B
����±5%�ԃ�(n��i)��zui������������r����Ո(q��ng)ע����
����±5%�ԃ�(n��i)������zui�������^���У�����
����0.2r/min���������r(sh��)����10μm���µ��ھ��^�V����
4r/min���•r(sh��)����ںͳ��ډ��O(sh��)����0.6MPa ��
��������1.0?21MPa ��������׃��(d��ng)���O(sh��)����
����±5%�ԃ�(n��i)�����ƕr(sh��)����ںͳ��ډ������0MPa ���ϡ�
�������ֱ������D(zhu��n)��(d��ng)����������������Ո(q��ng)?ji��n)���ںͳ��ڵĉ�����?br /> 

*NACHI���������y,����Խ���������yԔ��(x��)��B
�ڿ���0.2r/min���������r(sh��)��Ո(q��ng)�r(sh��)ʹ��10μm���µ��ھ��^�V��
Control 0.2r / min or less when traffic with 10μm or
��1.0MPa ���ό������ֱ������D(zhu��n)��������������
��ʹ�É�����Һ���͵�ճ��׃������׃����Ҏ(gu��)��׃��������������
�ضȷ���20°C?60°C�У���40�r(sh��)���������(bi��o)��(zh��n)������׃��(d��ng)��±
�ԃ�(n��i)��������1.0?10.5MPa ��������׃�����O(sh��)
less in-line filter. set at 0.6MPa {6.1kgf / cm2} In
When 4r / min or less, and the inlet and outlet pressure