SMC�o�U��� �Cе�Ӻ�ʽ���c
�г̞�̣��л����U�����
���г̷���Č��Hռ�а��b���g�s2.2L��
������SMC����е��܉�����������ֹ�������҃�ǻ�໥�Z�⣬�O�л����ܷ�Ȧ��
�����ϵ���ĥ�h����ߚ�׵Č����ԣ��p�ٻ����ܷ�Ȧ��ĥ�ģ��p��Ħ��������
��ĥ�h�Lʹ�þ۰��������ķ���ϩ���A���ϳɘ�֬�Ȳ�����
SMC��׻����Č������ܷ�Ȧ�ߴ�ͱ�Ҫ�Ļ��Ӳ����L�ȁ�Q����
���Ӳ���̫�̣�����������ĥ�p�Ϳ�����
�����IJ��|�����X�Ͻ���T�F��С�͸׵Ļ������S�~�Ƴɵ���.
�����U��SMC�����zui��Ҫ�����������

�ڟo�U��׵ĸ�Ͳ�S���_��һ�l���������c���K�ڲ��ϲ��Ƅӡ����˷�ֹй©�����m����Ҫ���_�ڲ������ܷ⎧�ͷ��m���P䓎��̶��ڃɶ˸��w���������ܴ��^�ۣ��ѻ����c���K�B��һ�w�������c���K�B����һ�������ӹ̶��ڻ��K�ϵĈ��ЙC�����F�����\����

�@�N�o�U��׵Ļ��������w�ܷ��ڸ�Ͳ���������ͻ��K֮�g�]��ֱ�ӵęCе�B�ӡ�����ͨ�^�����ϵĴ�䓺ͻ��K�Ȃȴ��֮�g�Ĵ��������һ��

�c��ͨ�����ȟo�U�׸�ʡ���g����ͬ���г��¿ɿsС1/2���bλ�á�

������߅��ͬ�����ԃɶ�������ͬ��

ͨ��ʹ�ø�̼������潛�Ӳ�t̎����
��ʹ�ò��P����Է����g��������ܷ�Ȧ����ĥ�ԡ�.
��Ͳ�ăȏ���С�����˚��ݔ�����Ĵ�С��
����Ҫ�ڸ�Ͳ����ƽ�������ͻ��ӣ�
��Ͳ�ȱ���ı���ֲڶȑ��_��Ra0.8um����䓹ܸ�Ͳ��
�ȱ���߀���Ӳ�t���ԜpСĦ��������ĥ�p�����ܷ�ֹ�P�g��
���]�л����U���tռ�а��b���g�H��1.2L��
���г̸׏��ȿ��_50��200��MY1ϵ���г̿��L�_5m��
�]�л����U��߀�ܱ������ڻ����U���U�ܷ�Ȧ�ēp���������Ĺ�����
�]�л����U�������ɂ��܉���e��ȣ�����ͬ�ӵ���������������߶�λ������.
SMC�o�U��� �Cе�Ӻ�ʽ���c