������ڶ̕r�g���˽�SMC���Ԫ����
    ԓ�M���ɰ��SMC���Ԫ���г̿��{��������һ�N�ϡ�����ģ�K�����߷N��ͬ���ܵ�ģ�K��ʽ������ɾ����b�侀�ϵ��ϡ��������I���ɰ����I���݌���ͬģ�K����M�ϡ�߀��һ�N�Cе����������С���ܸ�׃�[�ӽǶȵĔ[�Ӛ���c�A�^�ĽM�ϼ����A�^��λ�����ɷN�A�^���x�䡣�c��Ӽ��g�Y�ϣ�����ʹ�Â����������Ԫ�����ܻ�.���_�P�Ě�ׇ������ձ�ʹ�ã��_�P�w�e����С�����ߣ���Ƕ���׸��w����Щ߀���pɫ�@ʾ�����@ʾ��λ���`�ʹϵ�y���ɿ����Â�������������Ӌ�������������Ԅӿ��Ɖ��s�՚�����������������Թ��ܲ����Cʹ���b�������\�С�����ŷ���λϵ�y���ЮaƷ�M���Ј���
    ԓϵ�y����SMC���Ԫ�����A���Ķ�λĿ���cλ�Â������ęz�y�����M�б��^����ʩؓ�������ơ���״��ٶ��_2m/s���г�300mm�r��ϵ�y��λ����±0.1mm���ձ�ԇ�Ƴɹ�һ�N��������늴��y���@�N�y�䎧�Ђ�������߉݋��·���ǚ��Ԫ���c����Ӽ��g�Y�ϵĮa�
    ����ֱ�ӽ��܂���������̖������̖�M��l���r������ͨ�^�ⲿ������������������Ʉ������_������Ŀ�ġ����ѽ����������w�Ă��͎��ϣ����R�e���\���w�Ĵ�С��ʹ���ֱ�����ͣ�С�����������ߵİ�ȫ�ԺͿɿ���.�Ľ�����Ě�Ӽ��g�˜ʿ�֪���˜ʲ��H����˻��Q��Ҫ�󣬲��ҏ��{�˰�ȫ�ԡ����Ԫ�����S��ʹ�È��ϣ���܈䓙C��������ˮ���ȣ��ڹ����r�g�Ȳ��������Ԫ���Ć��}���Д࣬��t����ɾ޴�pʧ����˚��Ԫ���Ĺ����ɿ����@�÷dz���Ҫ���ں���݆���ϣ�ʹ�õĚ��Ԫ�����٣����ܴ��M�@����Ě��Ԫ���S���࣬ԭ�����䌦���Ԫ���Ŀɿ���Ҫ���؄e�ߣ����ͨ�^���P�Cе���J�C������١����l����푑����߉�������lչ.��������O���Ч�ʣ���߈���Ԫ���Ĺ����ٶȄ��ڱ��С�
    �Ě�׹����ٶȌ���ߵ�1~2m/s���е�Ҫ���_5m/s����׹����ٶȵ���ߣ����HҪ���׵���ߣ����ҽY����ҲҪ�������M������Ҫ�����͉������������Ӿ��_Ч���ȡ�
    SMC���Ԫ����푑��r�g��С��10ms��������ߵ�5000�f�����ϡ�������һ�N�g϶�ܷ���y�������yо�Ҹ����y�w�ȣ��໥�����|���ڟo�蝙���£��������_2�|�Ρ��ձ�ʹ�ßo�͝������g���M��ijЩ����Ҫ��.���ڭh����Ⱦ�Լ���ӡ��t����ʳƷ�ȵ�Ҫ�󣬭h���в����S���ͣ���˟o�͝����ǚ��Ԫ���İlչڅ��ͬ�r�o�͝�����ʹϵ�y�������W���Ј������F���ь���̭�ĮaƷ���ձ������˟o�͝��������⣬���˝M��ijЩ����Ҫ�󣬳����������;����^�V�����ڲ����_�l���^�V�������_0.1~0.3μm���^�VЧ�����_99.9999%���Ծ��ķ���ϩ�����w�ďͺϲ�������Ě���ܷ�����͟ᣨ260�棩���ͺ���-55�棩����ĥ����ʹ�È���Խ��Խ�ࡣ
    SMC���Ԫ��������ߵ��¼��g���ښ��Ԫ�����������ƏV�����ڱ��B���S�޺�ʹ��.���������о�ʹ�Â��������F���Ԫ����ϵ�y���й����A������\�๦�ܡ��������Ě�Ӽ��g�lչ�����֪���ښ�ӮaƷ���_�l���҂����S�๤���������κ�һ�����Ԫ���S����ʹ��Ҏģ����ֻҪͻ��һ�����棬�����ּ��g���Ϳ������Ј���ռһϯ֮�أ��ڼ��ҵĸ����Ы@������Ͱlչ��������Ͷ��������Ҫ��������һ�����Ú�׎��ۯB���еİl�䘌�w���ǚ�ӮaƷ�ĵ��͑��á�
    ��ˮ�Ͼ�������þ�Ԯ�l�]�˺ܴ�����á����Ԫ�����Ј����򡡚��Ԫ���lչ���򣺸��ߵİ�ȫ�ԺͿɿ��ԡ��Ľ�����Ě�Ӽ��g�˜ʿ�֪���˜ʲ��H����˻��Q��Ҫ�󣬲��ҏ��{�˰�ȫ�ԡ��ܽ��^����Դ̎���⚤���͉�ԇ�ĉ�����ߵ�ʹ�É�����4~5�����͉��r�g���ӵ�5~15min��߀Ҫ�ڸߡ��͜ض����M��ԇ򞡣
    SMC���Ԫ�����؞���@Щ�˜ʣ����ȵĸ�Ͳ�����w����Դ̎���T���͹ܽ��^�ȶ��y�_���˜�Ҫ�󡣳��͉�ԇ�̎���Y����Ҳ����ijЩҎ�������Դ̎����͸�����ⲿҎ��Ҫ�ӽ��ٷ��o�֡�
    SMC���Ԫ����ָ�ԉ��s�՚����鹤�����|����f�����͌��F���Ƶ�һ�T���g�����������Ӽ��g�Ϳ��Ƽ��g�ɂ�����ă��ݡ���Ԫ��ͨ�^���w�ĉ�������Û�a��������������Ԫ�����������s�՚�ď����D�Q����ܵęC�������ס�����R�_�������C�ȡ����Ԫ����һ�N����������ʽ�����������D�Q�b�ã����Ú��w��������f������
    SMC���Ԫ�����÷�������һ�зǘ��O���ӵă�ȱ�ca����b�ýY�����Ρ��p�㡢���b�S�o����b�������|��ȡ֮���M�Ŀ՚⡢�՚Ȿ�������X��
    SMC���Ԫ���Ś�̎�����Σ�����Ⱦ�h�����ɱ��͡�c�ɿ��Ըߣ�ʹ�É����Ldȫ��ӿ��ƾ��з��𡢷������������������cҺ����ʽ��ȣ���ӷ�ʽ���ڸߜ؈���ʹ�á�
    SMC���Ԫ�����ڿ՚����ӓpʧС�����s�՚�ɼ��й������h���xݔ��ȱ�c�����ڿ՚��Љ��s�ԣ���׵Ą����ٶ�����ؓ�d��׃����׃��,����늄Ӿ��Ȳ���
    ����SMC���Ԫ�����Կ˷��@һȱ�ݚ���ڵ����\�ӕr������Ħ����ռ�����ı����^�󣬚�׵ĵ��ٷ����Բ���Һ���ך�׵�ݔ�����ܝM�㹤��Ҫ�󣬵���ݔ������Һ����С��
    SMC���Ԫ�����M�ɽY����Դϵ�y-��Դ̎��-�����������ٶȿ���-����Ԫ��-���b��