FESTO��ף��M˹�К��
|39529831|39529839|39529829  -8007-8008
�����Ú�׵����c�ǣ�
1���Hһ���M���ţ��⣬�Y�����Σ��Ě���С��
2���Ï�������ĤƬ���ȏ�λ�����s�՚�������һ�������ڿ˷���������ĤƬ����������pС�˻����U��ݔ������
3���׃Ȱ��b���ɡ�ĤƬ�ȣ�һ���г��^�̣��c��ͬ�w�e���p���Ú����ȣ���Ч�г�СһЩ��
4����׏�λ���ɡ�ĤƬ�ď������S׃�δ�С׃������������U��ݔ���������M�^������׃���ġ�
�����������c�������û�����׶����ڶ��г̡����������\���ٶȾ�Ҫ�󲻸߈��ϣ���������λ�͊A�o���b���ϡ������������ׄt��Ȼ���������L�г̡����d�ɵĈ��ϡ�
�p�����
�p���Ú��ָ��ǻ���Էքeݔ�뉺�s�՚⣬���F�p���\�ӵĚ�ס���Y���ɷ֞��p�����Uʽ���λ����Uʽ���p����ʽ�����_ʽ�ͷǾ��_ʽ�ȡ�����ʹ�á�
1���p�����U�p���Ú���p�����U����и��w�̶��ͻ����U�̶��ɷN��
���w�̶��r���������d�ɣ��繤���_���c��׃ɻ����U�B��һ�w�����s�՚������M���׃�ǻ��һǻ�M����һǻ�Ś⣩�������U���ӹ����_�����\�ӣ������_�\�ӷ�����������Ч�г�s��3�������b��ռ���g��һ������С���O���ϡ�
�����U�̶��r�����·�B�ӷ��㣬�����U�Ƴɿ��ģ����w�c�d�ɣ������_���B��һ�w�����s�՚�Ŀ��Ļ����U����˻��Ҷ��M���׃�ǻ��ʹ���w���ӹ����_����������\�ӣ������_���\�ӷ���������Ч�г�s��2�����m�����С������O�䡣 2
�p�����U�����ɶ˻����Uֱ����ȣ��ʻ����ɂ�������e��ȡ���ݔ�뉺����������ͬ�r���������\��ݔ�������ٶȾ���ȡ�
2�����_��׌��ڽӽ��г�ĩ�˕r�ٶ��^�ߵĚ�ף�����ȡ��Ҫ��ʩ�������͕��Ժܴ������������ײ�����w��������Ӻ͓p�ęC��������ʹ�������г�ĩ���\��ƽ�������a���_���F���ښ�׃ɶ˼��O���_�b�ã�һ��Q�龏�_��ס����_�����Ҫ�ɻ����U1�����������_�����������y�������y�����w�ȽM�ɡ��乤��ԭ���ǣ��������ډ��s�՚��Ƅ��������\�ӕr������ǻ�Ě��w�������׼����w�ϵĚ���ų����ڻ����\�ӽӽ��г�ĩ�˕r�������҂ȵľ��_�����������׶����������^�m�����\�ӕr�����ښ����ǻ�ȵ�ʣ�����w�����s��������ͨ�^�����y������ų��������s�Ě��w���a���ĉ���������c�����\�������е�ȫ��������ƽ�⣬����ȡ�þ��_Ч����ʹ�������г�ĩ���\��ƽ�������a���_�����{�������y�y���_�ȵĴ�С�����ɿ����Ś����Ķ��٣��Ķ��Q���˱����s�ݷe���Q���_�ң��ȉ����Ĵ�С�����{�����_Ч����������������\�ӕr���Ě��ݔ�뉺�s�՚⣬��ֱ����_�����y���Ƅӻ��������\�ӡ��繝���y�y���_�ȹ̶��������{�������Q�鲻���{���_��ס� 
���_��׌��ڽӽ��г�ĩ�˕r�ٶ��^�ߵĚ�ף�����ȡ��Ҫ��ʩ�������͕��Ժܴ������������ײ�����w��������Ӻ͓p�ęC��������ʹ�������г�ĩ���\��ƽ�������a���_���F���ښ�׃ɶ˼��O���_�b�ã�һ��Q�龏�_��ס����_�����Ҫ�ɻ����U1�����������_�����������y�������y�����w�ȽM�ɡ��乤��ԭ���ǣ��������ډ��s�՚��Ƅ��������\�ӕr������ǻ�Ě��w�������׼����w�ϵĚ���ų����ڻ����\�ӽӽ��г�ĩ�˕r�������҂ȵľ��_�����������׶����������^�m�����\�ӕr�����ښ����ǻ�ȵ�ʣ�����w�����s��������ͨ�^�����y������ų��������s�Ě��w���a���ĉ���������c�����\�������е�ȫ��������ƽ�⣬����ȡ�þ��_Ч����ʹ�������г�ĩ���\��ƽ�������a���_�����{�������y�y���_�ȵĴ�С�����ɿ����Ś����Ķ��٣��Ķ��Q���˱����s�ݷe���Q���_�ң��ȉ����Ĵ�С�����{�����_Ч����������������\�ӕr���Ě��ݔ�뉺�s�՚⣬��ֱ����_�����y���Ƅӻ��������\�ӡ��繝���y�y���_�ȹ̶��������{�������Q�鲻���{���_��ס� 
���������������M��ֱ�������\�ӵĈAͲ�ν��ٙC�������|�ڰl�әC�����ͨ�^��Û�������D����Cе�ܣ����w�ډ��s�C����н��ܻ������s����߉������u݆�C�����D����ʽ�l�әC�ȵĚ��wͨ��Ҳ�Q“���”��
��׵đ�����ӡˢ���������ƣ����댧�w���c���C��оƬ��ĥ�����Ԅӻ����ơ��C���˵ȵ�
��׵����ã�
�����s�՚�ĉ������D�Q��Cе�ܣ��әC����ֱ�������\�ӡ��[�Ӻ����D�\�ӡ�
��׵ķ��
ֱ���\�������\�ӵĚ�ס��[���\�ӵĔ[�Ӛ�ס���צ�ȡ�
��׵ĽY����
������ɸ�Ͳ�����w�������������U���ܷ���M�ɣ���Ȳ��Y����D��ʾ��SMC���ԭ��D
��Ͳ
��Ͳ�ăȏ���С�����˚��ݔ�����Ĵ�С������Ҫ�ڸ�Ͳ����ƽ�������ͻ��ӣ���Ͳ�ȱ���ı���ֲڶȑ��_��Ra0.8um����䓹ܸ�Ͳ���ȱ���߀���Ӳ�t���ԜpСĦ��������ĥ�p�����ܷ�ֹ�P�g����Ͳ���|��ʹ�ø�̼䓹��⣬߀���øߏ����X�Ͻ���S�~��С�͚����ʹ�ò��P䓹ܵġ��������_�P�Ě�׻����͸��g�h����ʹ�õĚ�ף���Ͳ��ʹ�ò��P䓡��X�Ͻ���S�~�Ȳ��|��
CM2��׻����ϲ��ýM���ܷ�Ȧ���F�p���ܷ⣬�����c�����U�É��T朽ӣ�������ĸ��
���w
���w���O���M�Ś�ͨ�ڣ��͵�߀�ڶ��w���O�о��_�C�����U�ȶ��w���O���ܷ�Ȧ�ͷ��mȦ���Է�ֹ�Ļ����U̎����©��ͷ�ֹ�ⲿ�҉m����׃ȡ��U�ȶ��w���O�Ќ����ף�����ߚ�׵Č��򾫶ȣ����ܻ����U�������ęM��ؓ�d���pС�����U����r�����������L���ʹ�É�����������ͨ��ʹ�ß��Y���ͺϽ�ǰ�A�~�T�������w�^ȥ���ÿ���T�F���F�ڞ�p�p���������P����ʹ���X�Ͻ����T��΢�͸���ʹ���S�~���ϵġ�
����
�����ǚ���е��܉�����������ֹ�������҃�ǻ�໥�Z�⣬�O�л����ܷ�Ȧ�������ϵ���ĥ�h����ߚ�׵Č����ԣ��p�ٻ����ܷ�Ȧ��ĥ�ģ��p��Ħ����������ĥ�h�Lʹ�þ۰��������ķ���ϩ���A���ϳɘ�֬�Ȳ��ϡ������Č������ܷ�Ȧ�ߴ�ͱ�Ҫ�Ļ��Ӳ����L�ȁ�Q�������Ӳ���̫�̣�����������ĥ�p�Ϳ����������IJ��|�����X�Ͻ���T�F��С�͸׵Ļ������S�~�Ƴɵġ�
�����U
�����U�ǚ����zui��Ҫ�����������ͨ��ʹ�ø�̼䓣����潛�Ӳ�t̎������ʹ�ò��P䓣��Է����g��������ܷ�Ȧ����ĥ�ԡ�
�ܷ�Ȧ
���D�������\��̎�IJ����ܷ�Q����ܷ⣬�oֹ�����ֵ��ܷ�Q���o�ܷ⡣
��Ͳ�c���w���B�ӷ�����Ҫ�����Ž׷N��
���w�͡��T���͡��ݼy“���͡����m�͡����U�͡�